平整度是指基板的宏觀凹凸高度與理想平面的偏差。平面度測量是指被測實際表面與其理想平面的偏差。

　　測量方法:

　　1.塞尺測量。塞尺主要用來測量間隙間距，只能粗略測量平面度。使用塞尺前，必須清除塞尺和工件上的污垢和灰塵。使用時，可將一片或幾片重疊插入縫隙，以感覺有點遲緩為宜。測量時動作要輕，不允許硬插。由于其精度低、檢測效率低、結果不完整，只能檢測零件的邊緣。

　　2.液體平面法。液位法以液位為測量基準，液位由“連通罐”中的液位組成，再用傳感器進行測量。基于連接器的工作原理，適用于測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，對溫度敏感，只適用于測量精度不高的平面。

　　3.用儀表測量。拍米法是將被測零件和千分尺放在一個標準平板上，以標準平板為測量基準，用千分尺沿實際表面逐點或沿幾條直線進行測量。


　　平面度測量，又稱平面度測量，主要用于玻璃行業的測量。測量平面度有幾種方法:

　　1.大部分都是用塞尺測量。塞尺用于填充整個工件邊緣，以獲得測量數據。這種方法弊端很大，因為塞尺塞不進工件中間，導致中間部分的數據測不出來。而且塞尺容易刮傷工件，尤其是玻璃工件，更容易刮傷。

　　2.影像測量儀測量，影像測量儀通過自動光學聚焦掃描測量。圖像測量儀雖然能達到要求的測量結果，但效率較慢。汽車剎車片、氣缸蓋、玻璃蓋板、剎車片鋼化膜、手機等。在工廠里大規模生產，而且都是全檢，所以要求測量速度高。



　　3.接觸探針測量。接觸探針測量是通過用探針直接接觸工件來進行的。探頭測量法的精度比成像儀測量更精確，但探頭的測量效率相對較慢。而且用探頭測量一些軟性材料或者容易劃傷的工件，容易導致工件變形。探頭的測量精度很高，但是測量效率不是特別快。

　　4.激光測量儀。激光測量儀采用非接觸式激光點測量，不會損傷工件，效率高。激光測量儀有兩種:單個激光測量儀和三個激光測量儀。單激光測量儀是用于激光點測量的激光頭，測量準確，效率高。進一步提高了三激光測量儀的速度。如果測量速度需要很快，建議使用三臺激光測點，保證了測量速度。激光頭的數量可以根據需要增加。